採購年度：101年

管理單位：工學院材料系

放置地點：工綜館130室

儀器專家：高振宏教授 02-3366-3745

技術人員：陳曉萱 02-3366-1350

儀器功能：離子束切割製作試片、顯微結構觀察分析

採購年度：95年

管理單位：電資學院光電所

放置地點：電機二館331 室

儀器專家：黃建璋教授02-3366-3665/吳肇欣教授 02-3366-3694

儀器功能：利用電漿將反應氣體離子化，在乾燥環境下蝕刻金屬層，目的為製作出具良好方向性之奈米等級的孔洞及溝槽。

採購年度：96年

管理單位：電資學院電子所

放置地點：電機二館-128

儀器專家：吳肇欣教授 02-3366-3694

儀器功能：電子束微影技術

採購年度：97年

管理單位：電資學院電子所

放置地點：電機二館-129

儀器專家：吳肇欣教授 02-3366-3694

儀器功能：電子束觀測與離子束切削

採購年度：98年

管理單位：電資學院光電所

放置地點：電機二館325 室

儀器專家：林建中教授 02-3366-7214

儀器功能：此機台之光源採用一組氙氣燈泡及三組鹵素燈泡來模擬太陽光譜，相對於市面上其他較常見只採用單一氙氣燈泡者，此機台在長波長範圍之頻譜的模擬更為準確，因此此機台之spectral coincidence 可達到超高品質(+/-10%)，相對於一般Class A (+/-25%)標準高上許多。使用本系統可量測太陽能電池之IV特性曲線，進而換算其元件之光轉換效率。

採購年度：98年

管理單位：電資學院電子所

放置地點：電機系一館R107

儀器專家：林浩雄教授 02-3366-3670

儀器功能：提供校內外相關系所單位III-V磊晶結構樣品成長

採購年度：100年

管理單位：電資學院光電所

放置地點：電機二館405 室

儀器專家：林清富教授 02-3366-3540

儀器功能：量測有機、無機半導體之載子濃度、載子遷移率、電阻率

採購年度：100年

管理單位：電資學院光電所

放置地點：電機二館405 室

儀器專家：林清富教授 02-3366-3540

儀器功能：半導體製程設備、三五族化合物半導體磊晶、LED(Light Emitting Diode)發光二極體

採購年度：102年

管理單位：電資學院光電所

放置地點：電機二館331 室

儀器專家：黃建璋教授 02-3366-3665

儀器功能：利用電漿反應氣體離子化，在乾燥環境下蝕刻氧化物，目的為製作出具良好方向性之奈米等級的孔洞及溝槽。

採購年度：104年

管理單位：電資學院光電所

放置地點：電機二館331 室

儀器專家：楊志忠教授 02-3366-3643

儀器功能：用於食用之元件製程及用於材料加工後來探討基本物性、化性、材料及光電特性

採購年度：105年

管理單位：電資學院光電所

放置地點：電機二館325 室

儀器專家：吳肇欣教授 02-3366-3694

儀器功能：用於食用之元件製程及用於材料加工後來探討基本物性、化性、材料及光電特性

採購年度：109年

管理單位：電資學院光電所

放置地點：電機二館331室

儀器專家：陳奕君教授 02-3366-9648

儀器功能：各種元件圖案之對準曝光顯影