採購年度：109年
管理單位：工學院材料系
放置地點：工粽館140室
儀器專家：楊哲人教授 02-3366-3142
技術人員：陳學人先生 02-3366-1348 / 邱柏翰博士 02-3366-5928
儀器功能：1.TEM：
可進行微結構觀察、明視野、暗視野影像分析、電子繞射等分析。高解析TEM影像，300kV之TEM影像使用單光束能譜過濾器( Monochromator )輔佐影像球差修正器( Cs Image )解析度為0.06 nm。
2.STEM：
高解析掃描穿透明、暗視野 (HR STEM BF and DF)影像。300kV STEM影像輔佐球差修正器( Cs Probe )解析度為0.05 nm。
3.EDS元素分析：
不同維度之EDS定性及半定量成分分析。EDS搭配STEM的BF, DF2, DF4, HAADF偵測器同步獲取影像和光譜訊號可進行full frame、 選區和線掃描等掃描分析模式。
4.應力分析：
Micro電子束STEM微曲繞射收集使用分析軟體( Epsilon ) ，可以轉化為應力分布影像功能。
